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AMAT 0010-23716 装配测温仪

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详细介绍

AMAT 0010-23716

AMAT 0010-23716 指的是应用材料公司 (AMAT) 半导体制造设备中使用的装配测温仪。

AMAT 0010-23716作为PMAX系列的核心组件,通过高精度非接触测温技术,在半导体、光伏等领域的高温工艺中实现精准控制。

这是一个高温计组件,可能用于应用材料公司 PMAX 系列设备中的快速热处理 (RTP) 应用。高温计是一种遥感温度计,用于通过表面发出的红外辐射测量表面温度。


AMAT 0010-23716 装配测温仪 AMAT 0010-23716 装配测温仪

核心功能
非接触式测温:基于红外辐射或光谱分析技术,实现多区域温度分布监测。
实时反馈:支持闭环控制,通过高速接口(如PMAX系统)传输数据,优化工艺参数。
校准方式:支持原位校准或离线校准,确保长期测量稳定性。

附加特性
快速响应:实时监测温度变化,响应速度满足毫秒级需求。
智能化集成:支持远程监控、故障诊断,并兼容AMAT及其他品牌特定设备。
模块化设计:便于快速更换与维护,减少设备停机时间。

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